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更新時間： 2024-02-25 22:03:56

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半導體所等在半導體材料“異構外延”研究中獲進展

半導體產業經過長期發展，已進入“后摩爾時代”，“超越摩爾定律”迎來了高潮，未來半導體產業的發展需跳出原有框架尋求新的路徑。面對這些機遇和挑戰，寬禁帶先進半導體等基礎材料的制備也在孕育突破，新材料、新工藝和異構集成等將成為后摩爾時代的重要技

今日Science：單晶外延膜，如今甩著做！

美東時間4月11日中午，Science雜志在線發表一篇研究論文，題目就四個字：Spin coating epitaxial film。單晶外延膜，如今甩著做！另附專家點評。可以毫不夸張地說，甩涂法是現代微電子工業的根基。用于集成電路微加

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