ANSI/IEST/ISO 14644-1:1999
潔凈室和相關控制環境.第1部分:空氣清潔度的分級

Cleanrooms and associated controlled environments--Part 1: Classification of air cleanliness

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標準號

ANSI/IEST/ISO 14644-1:1999

發布

2003年

發布單位

美國國家標準學會

當前最新

ANSI/IEST/ISO 14644-1:1999

 

 

適用范圍

ISO 14644 的這一部分涵蓋了潔凈室和相關受控環境中空氣潔凈度的分類，僅根據空氣中顆粒的濃度進行分類。僅考慮具有基于 0、1μm 至 5μm 范圍內的閾值（下限）尺寸的累積分布的粒子群用于分類目的。 ISO 14644 的這一部分沒有規定對超出指定粒徑范圍（0、1 μm 至 5 μm）的顆粒群進行分類。超細顆粒（小于 0、1 μm 的顆粒）和大顆粒（大于 5 μm 的顆粒）的濃度可分別用于根據 U 描述符和 M 描述符來量化這些總體。 ISO 14644 的這一部分不能用于表征空氣中顆粒的物理、化學、放射性或活性性質。注意：增量尺寸范圍內顆粒濃度的實際分布通常是不可預測的，并且通常會隨時間變化。

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