實驗室分析儀器--ICP-MS基本結構
ICP-MS儀器結構不同廠家具有其特殊設計，但基本組成類似，主要包括霧化器、霧化室、ICP炬管、接口室、離子透鏡、四極桿質濾器、檢測器、機械泵、分子泵等。其基本結構為：
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1）進樣系統 ?
將樣品直接汽化或轉化成氣態或氣溶膠的形式送入高溫等離子體炬。
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2）ICP離子源??
使待測樣品中的原子、分子在高溫等離子體中電離轉化為帶電離子。
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3）接口室??
連接常壓高溫等離子體及高真空質譜儀，從ICP離子源中提取樣品離子流。
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4）離子透鏡??
將接口室提取的離子流聚焦成散角盡可能小的離子束，同時去除電子、光子、顆粒物等形成背景噪聲的離子。
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5）四極桿質濾器??
根據離子質荷比m/z分離離子，使不同質荷比的離子順次通過。
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6）檢測器及數據處理系統??
接收被質濾器分離的離子，同時將離子信號轉化為電信號，經轉換、放大、處理后給出分析結果。
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7）真空系統??
確保離子具有足夠的平均自由程，降低離子之間的碰撞概率，通常由機械泵、渦輪分子泵來實現。
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8）軟件控制系統??
監測儀器工作狀態，控制儀器各工作參數設定值。
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