離子注入機有哪些類型
常用的生產型離子注入機主要有三種類型：低能大束流注入機、高能注入機和中束流注入機，如下表所示：
| 離子注入機類型 | 能量范圍 | 注入劑量范圍 | 工藝中的主要應用 |
| 低能大束流離子注入機 | 0.2keV~100keV |  | 超淺結、源漏注入、多晶硅柵極注入等 |
| 高能離子注入機 | ~MEV |  | 深埋層等 |
低能大束流離子注入機：大束流的注入機的束流可以達到幾毫安甚至幾十毫安，注入劑量范圍 。能量低于100keV，由于器件的特征尺寸不斷縮小，需要更低能量的注入，以形成淺結或超淺結，有的大束流的注入機的最低能量可以達到0.2keV。
高能離子注入機：高能注入機的能量可高達幾MeV，注入劑量為 。
中束流離子注入機：中束流注入機的注入能量在幾百keV范圍內，注入劑量范圍比高能注入機大
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