ICP離子源
使用氬氣作為等離子氣的原因：
氬的第一電離能高于絕大多數元素的第一電離能(除He、F、Ne外)，且低于大多數元素的第二電離能(除Ca、Sr、Ba等)。
因此，大多數元素在氬氣等離子體環境中，只能電離成單電荷離子，進而可以很容易地由質譜儀器分離并加以檢測。
ICP離子源中的物質
1）? 已電離的待測元素：As+, Pb +, Hg +, Cd +, Cu +, Zn +, Fe +, Ca +, K +, ???????
2） 主體：Ar原子(>99.99％)
3） 未電離的樣品基體：Cl, NaCl(H2O) n, SOn, POn, CaO, Ca(OH)n, FeO, Fe(OH) n,??????這些成分會沉積在采樣錐、截取錐、第一級提透鏡、第二級提取透鏡（以上部件在真空腔外） 、聚焦透鏡、W偏轉透鏡、偏置透鏡、預四極桿、四極桿、檢測器上（按先后順序依次減少），是實際樣品分析時使儀器不穩定的主要因素，也是儀器污染的主要因素；
4） 已電離的樣品基體：ArO+, Ar +, ArH+, ArC +, ArCl +, ArAr +,（Ar基分子離子） CaO+, CaOH +, SOn +, POn +, NOH +, ClO + ??????（ 樣品基體產生），這些成分因為分子量與待測元素如Fe, Ca, K, Cr, As, Se, P, V, Zn, Cu等的原子量相同，是測定這些元素的主要干擾；
??? 特別需要注意的是，1ppt濃度的樣品元素在0.4mL/min（Babinton霧化器，0.1rps）速度進樣時，相當于每秒進入儀器>10,000,000個原子；而在檢測器得到的離子數在10－1000之間，即>99.99%的樣品及其基體停留在儀器內部或被排廢消除；因此，加大進樣量提高靈敏度的后果是同時加大儀器受污染速度。
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