用于 TEM 樣品制備（包括 3D 表征、橫截面成像和微加工）的等離子體聚焦離子束掃描電子顯微鏡。

Helios 5 PFIB DualBeam

• 無鎵 STEM 和 TEM 樣品制備

• 多模式亞表面和 3D 信息

• 新一代 2.5 μA 氙氣電漿 FIB 色譜柱

Helios 5 PFIB DualBeam

用于 TEM 樣品制備（包括 3D 表征、橫截面成像和微加工）的等離子體聚焦離子束掃描電子顯微鏡。

Plasma focused ion beam instrument

Thermo Scientific Helios 5 Plasma FIB (PFIB) DualBeam（聚焦離子束掃描電子顯微鏡或 FIB-SEM）是具有無與倫比的功能，專用于材料科學和半導體應用的顯微鏡。材料科學研究人員可以通過 Helios 5 PFIB DualBeam 實現大體積 3D 表征、無鎵樣品制備和精確的微加工。半導體設備、先進包裝技術和顯示設備的制造商通過 Helios 5 PFIB DualBeam 可實現無損傷、大面積反處理、快速樣品制備和高保真故障分析。

主要特點

 材料科學的主要特點

無鎵 STEM 和 TEM 樣品制備

由于新 PFIB 色譜柱可實現 500 V Xe+ 最終拋光和所有操作條件下的優異性能，因此可以實現高質量、無鎵  TEM 和 APT 樣品制備。

先進的自動化

使用選配的 AutoTEM 5 軟件最快、最簡單地實現自動化的多點原位和非原位 TEM 樣品制備以及橫截面成像。

新一代 2.5 μA Xenon 等離子 FIB 色譜柱

使用新一代 2.5 μA Xenon 等離子 FIB 色譜柱 (PFIB) 實現高通量和高質量的統計學相關 3D 表征、橫截面成像和微加工。

多模式亞表面和 3D 信息

使用選配的 Auto Slice & View 4 (AS&V4) 軟件，訪問高質量、多模式亞表面和 3D 信息并精確定位感興趣區。

低能量下具有亞納米性能

憑借具有高電流 UC+ 單色器技術的一流 Elstar 電子色譜柱，可以在低能量下實現亞納米性能，從而顯示最細致的細節信息。

完整的樣品信息

可通過多達六個集成在色譜柱內和透鏡下的集成檢測器獲得清晰、精確且無電荷對比度的最完整的樣品信息。

先進的功能

通過 FIB/SEM 系統采用選配的 Thermo Scientific MultiChem 或 GIS 氣輸送系統，實現最先進的電子和離子束誘導沉積及蝕刻功能。

無偽影成像

無偽影成像基于集成的樣品清潔度管理和專用成像模式，例如 SmartScan? 和 DCFI 模式。

短時間獲得納米級信息

借助 SmartAlign 和 FLASH 技術，任何經驗水平的用戶都可以最短時間獲得納米級信息。

精確的樣品導航

由于 150 mm 壓電載物臺和選配腔室內 Nav-Cam 導航具有高穩定性和準確性，可根據具體應用需求定制精確的樣品導航。

半導體的主要特點

半導體設備反處理

Dx 化學處理結合等離子 FIB 束可以為高級邏輯、3D NAND 和 DRAM 提供獨特、位點特定、反處理和故障分析工作流程。

高速大面積橫截面成像

新一代 2.5 μA Xenon PFIB 色譜柱可實現高通量、高品質、統計學相關的 3D 表征、橫截面成像和微加工。

TEM 樣品制備

通過 PFIB 反處理結合 Thermo Scientific 引導工作流程，實現高質量、單層面和橫截面、自上而下和倒置 TEM 樣品制備。

亞納米低能量 SEM 性能

憑借具有高電流 UC+ 單色器技術的一流 Elstar 電子色譜柱，可以在低能量下實現亞納米性能，從而顯示最細致的細節信息。

先進的自動化

執行帶端點的自動反處理。SmartAlign 和 FLASH 技術使具有任何經驗水平的用戶在短時間內獲取納米級信息。

完整的樣品信息

可通過多達六個集成在色譜柱內和透鏡下的集成檢測器獲得清晰、精確且無電荷對比度的最完整的樣品信息。

無偽影成像

通過原位自動搖擺拋光和專用成像模式（如 SmartScan 和 DCFI 模式）獲取無偽影成像。

精確的樣品導航

體驗通過靈活的 5 軸電動平臺配置和超高分辨率平臺選項，專為滿足不同應用需求定制的精確樣品導航。

規格

 材料科學規格

*可選配，取決于配置

 半導體規格

Helios 5 PFIB DualBeam聚焦離子束掃描電子顯微鏡由賽默飛電子顯微鏡（原FEI）為您提供，如您想了解更多關于Helios 5 PFIB DualBeam聚焦離子束掃描電子顯微鏡 報價、型號、參數等信息，歡迎來電或留言咨詢。

注：該產品未在中華人民共和國食品藥品監督管理部門申請醫療器械注冊和備案，不可用于臨床診斷或治療等相關用途。