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安捷倫科技（中國）有限公司
BlueWave提供多種薄膜制備系統，包括脈沖激光沉積(PLD)、電子束蒸發、熱蒸發、反應濺射、熱絲化學氣相沉積(HFCVD)、熱化學氣相沉積系統(TCVD)。可制備的薄膜包括氮化物、氧化物、多層膜、鉆石、石墨烯、碳納米管、2D材料。Blue Wave還提供相關系統配件，例如基片加熱裝置、原位監測工具。此外，BlueWave還為您提供標準的薄膜以及材料涂層，例如氧化物涂層、導電薄膜、無定型或納米晶Si/SiC、晶體AlN-GaN、聚合物、納米鉆石、HFCVD鉆石涂層以及器件加工。
