超聲波光探傷裝置MIV-X 基于島津獨有的光學成像技術，將超聲波振子和頻閃觀測器相結合，通過激勵試樣表面，并以光學方式檢測表面位移，從而觀測超聲波在表面傳播情況。可以輕松、無損地檢測材料近表面的缺陷，包括不同材料的粘接剝落、以及油漆、熱噴涂和涂層等，可彌補超聲波檢測（UT）難以檢測的區域。

提供一種能夠一次檢查目標物體的測量區域并且在測量區域內沒有不一致發生的缺陷檢測裝置。缺陷檢測裝置(10)包括：用于在目標物體S內產生彈性波的產生單元(信號發生器11和振動器12)；用于在目標物體S的表面的測量區域上進行頻閃照明的照明單元(脈沖激光光源13和照明光透鏡14)；以及用于通過控制彈性波的相位以及頻閃照明的定時，集中地測量關于彈性波的至少三個相互不同的相位在測量區域內每個點處的法線方向上的位移的位移測量單元(散斑剪切干涉儀15)。測量區域內的缺陷基于通過位移測量單元被獲取的關于至少三個相位的在測量區域的每個點處的法線方向上的位移被檢測。還包括一種缺陷檢測方法。