隨著半導體制程的縮小，半導體行業無機雜質元素檢出限量低至ppt級，對ICP-MS的產品性能（檢出限、長期穩定性、長期可靠性等）要求極為苛刻，可在傳統行業成熟使用的ICP-MS較難應用于半導體行業，市場被國外產品長期壟斷。

萊伯泰科LabMS 3000s ICP-MS專為半導體行業設計，通過了SEMI S2認證，其高性能冷等離子體結合加強離子傳輸系統，提供了ppt級別的檢出水平；穩定可靠的ICP離子源帶來極高的系統穩定性，確保了儀器可以24h不間斷穩定安全運行。萊伯泰科ICP-MS已在國內某頭部集成電路制造企業通過驗證，填補了國產ICP-MS在半導體領域的空白，打破了國外廠商的長期壟斷，助力半導體檢測設備國產化替代進程。