分享：顯微鏡分類，特點及基本應用

上一篇 / 下一篇 2010-06-18 09:29:13

名稱	檢測信號	樣品	分辨率/nm	基本應用
透射電子顯微鏡（TEM）	透射電子和衍射電子	薄膜和復型膜	點分辨率0.3~0.5, 晶格分辨率0.1~0.2	1形貌分析：顯微組織、晶體缺陷 2晶體結構分析； 3成分分析（配附件）
掃描電子顯微鏡（SEM）	二次電子、背散射電子、吸收電子	固體	6~10	1形貌分析：顯微組織、斷口形貌；2成分分析（配附件）； 3結構分析（配附件）； 4斷裂過程動態研究
掃描隧道顯微鏡（STM）	隧道電流	固體（有一定導電性）	原子級垂直0.01，橫向0.1	1表面形貌與結構：表面原子三維輪廓； 2表面力學行為、表面物理化學研究
原子力顯微鏡（AFM）	隧道電流	固體（導體、半導體、絕緣體）	原子級	1表面形貌與結構分析； 2表面原子間力與表面力學性質的測定
場發射顯微鏡（FEM）	場發射電子	針尖狀（電極）	2	1晶面結構分析； 2晶面吸附、脫附和擴散等分析
場離子顯微鏡（FIM）	正離子	針尖狀（電極）	當尖半徑為100nm時室溫0.55 低溫0.15	1形貌分析：直接觀察原子組態；2表面重構、擴散等分析