能譜儀分析的幾種分析模式

能譜儀有下列幾種分析模式：
1、點分析：
    將電子探針固定在試樣感興趣的點上，進行定性或定量分析。該方法用于顯微結構的成份分析，例如，對材料晶界、夾雜、析出相、沉淀物、奇異相及非化學計量材料的組成等分析。

2、線分析
    電子束沿一條分析線進行掃描(或試樣掃
描) 時，能獲得元素含量變化的線分布曲線。
如果和試樣形貌像(二次電子像或背散射電子
像)對照分析,能直觀地獲得元素在不同相或
區域內的分布。
    沿感興趣的線逐點測量成分，也可以劃
出該線的成分變化曲線。
 
3、面分析
    將電子束在試樣表面掃描時，元素在試樣表面的分布能在CRT上以亮度分布顯示出來（定性分析)，亮度越亮，說明元素含量越高。研究材料中雜質、相的分布和元素偏析常用此方法。面分布常常與形貌像對照分析。
    點、線、面分析方法用途不同，檢測靈敏度也不同，定點分析靈敏度最高，面掃描分析靈敏度最低。