一 由于儀器
質譜無信號,診斷發現Power
Supplies診斷失敗,導致Lenes、RF(1)、RF(2))診斷失敗(見圖1.1~1.4),確定是+36V,-28V dc
Switching Power Supply 板子(見圖1.5)壞了,于是更換新板子,問題解決。

圖1.1

圖1.2

圖1.3

圖1.4

圖1.5
然后Tune the Ring Electrode and Quadrupole/Octapole RF Voltages,見A B C
A Tune the Quadrupole/Octapole RF Voltages

B Tune the Ring Electrode RF Voltages modulation

C Tune the Ring Electrode RF Voltage frequency,并手動調節Tuning Stud,使Frequency Cursor 位于Frequency Window中心的左邊。

二 儀器出現質譜開機后COMM指示燈不亮,不能與電腦連接的情況,原因有以下幾個(1)位于Embedded Computer的Support
PCB(見圖2.1)壞了,換上新的問題未得到解決;(2)位于Embedded
Computer的風扇不轉動,導致儀器內部過熱,COMM指示燈不亮,觀察風扇完好;(3)Embedded
Computer主板上的紐扣電池(見圖2.2)沒電了,換上新的,并把它與電腦顯示器相連,更新了里面存儲的信息,開機后COMM指示燈亮,質譜儀能與
電腦連接。

圖2.1

圖2.2
三 儀器出現質譜儀運行時Electron
Multiplier的-900V電壓(見圖3.1)加不上去,診斷Lenses失敗(見圖3.2),原因有兩個(1)Conversion
Dynode And Electron Multiplier Power Supply
(見圖3.3)壞了,更換之診斷(見圖3.4);(2)System Control PCB(見圖3.5)壞了,更換之診斷通過(見圖3.6)。

圖3.1

圖3.2

圖3.3

圖3.4

圖3.5

圖3.6
四 儀器的自動進樣器開機初始化出現如下的對話框(見圖4.1),原因有幾個(1)可能是Syringe
valve壞也可能是后面的電機沒有轉動,更換之(見圖4.2)問題未得到解決;(2)自動進樣器上的Surveyor A/S CPU PCA
Spare (見圖4.3)壞了,更換之問題解決。然后進行了Arm Calibration,重新設置了XYZ arm
的參考零點(見圖4.4及4.5)。

圖4.1

圖4.2

圖4.3

圖4.4

圖4.5
并介紹自動進樣改為手機進樣,只需把綠色插頭從自動進樣器后面板拔下,把手動進樣器六通閥的兩針頭分別插入綠色插頭的1孔GND和7孔INJECT OUT(見圖4.6)即可。

圖4.6
五 當質譜沒有運行的時候,Sheath Gas Flow Rate(arb)
讀數Actual不為0(見圖5.1),其讀數很大,把輔助氣管路(見圖5.2)卸下伸入甲醇中,無漏氣現象,把鞘氣管路卸下伸入甲醇中,管路漏氣,表明
Valve assembly, sheath/aux gas, dual manifold (見圖5.3)壞了,更換之問題解決!

圖5.1

圖5.2

圖5.3
六 由于診斷Tube lenses 及 RF(1)始終不過(見圖6.1及6.2),于是開始用校正液做校正(見圖6.3~6.6。(校正文件存儲在C:\xcalibur\system\lcq\msx\master,重新校正時記得備份)

圖6.1

圖6.2

圖6.3

圖6.4

圖6.5

圖6.6
校
正過程中multipole RF frenquency、Electron Multiplier Gain、Normal Scan
Types、ZoomScan Type和Injection RF
Level均通過,Waveform/Frequency卻不能通過。此時做診斷RF(1)通過(見圖6.7),Tube lenses
下Tube/gate lens的診斷(見圖6.2)仍舊沒通過。

圖6.7
于
是懷疑電路板PCB System Control壞了,Unplug 其接到源上的電纜線,做診斷,Tube lenses 下Tube/gate
lens的診斷通過,于是確認其輸出電壓無誤,可能是電壓沒加上去。于是重新關機,重新連接 Tube
lenses和Skimmer(見圖6.8)上的電路線,再開機,并用萬用表測試PCB System
Control到源上的電纜線,接線通,確認此電纜線完好。再重新做校正,仍不通過。于是關機取下離子源,用萬用表測試各電路線的電阻,為通。卻發現接頭
上連接到加熱器的接地線(見圖6.9)不通,因為其上的銅塊及上面的螺母表面被氧化所致,于是用 abrasive
cloth摩擦掉表面氧化物,再用萬用表量電阻為通,裝上后,Tube lenses 下Tube/gate
lens的診斷通過(見圖6.10),再重新校正,校正Waveform/Frequency亦通過。

圖6.8

圖6.9

圖6.10
七 質
譜是LCQ Deca XP ,液相部分是Thermo finnigan surveyor
LC,剛開始面板上的COMM燈為橙色,PDA連接不上,原因為surveyor
PDA的CPU上的Firmware丟失或損壞,于是用一個9-pin adaptor和一根4-pin serial cable
連接電腦與surveyor PDA,用HyperTerminal
更新Firmware,開始調用的是C:\xcalibur\system\TSP UV6000\pda.cof,于是能夠連接上了,PDA
上的COMM指示燈顯示連接上了,用工作站也能控制氘燈的開關,但點擊PDA,卻顯示surveyor PDA is not
connected。后來調用C:\xcalibur\system\surveyor
firmware\pda1_8.cof,用HyperTerminal 再次更新Firmware,PDA連接正常。
八 由于對PDA 進行 Adjusting the incident Light Levels,調節氘燈和鎢燈的attenuator
(見圖8.1)均不能使PDA光通量達到750000~775000的強度(見圖8.2);波長校正中,delta values
也不在+1的范圍(見圖8.3)。

圖8.1

圖8.2

圖8.3
于是采取了以下措施,均無效果。
A 更換新氘燈及新鎢燈(見圖8.4)
B 流通池(見圖8.5)臟了,先用40~50ml的CH3OH或IPA清洗,再用20%的硝酸溶液清洗。
最后檢查光通路,發現Beam Combiner (見圖8.6)臟了,換上新的即可!

圖8.4

圖8.5

圖8.6
然
后先viewing the Holmium Oxide Spectrum,點擊Zero
Data使顯示的吸收曲線為一水平線及三個光通道讀數為零;再進行 Dark Currrent
Calibration,點擊Apply扣除當氘燈及鎢燈關閉時產生的為1500~3000的背景信號。接著Adjusting the
incident Light Levels
中,調節氘燈和鎢燈的attenuator使PDA光通量達到750000~775000的強度,最后波長校正Wavelength
Calibration,delta values在+1的范圍。
九 質譜前肼真空Convectron Gauge Pressure
約為1 Torr,真空正常,離子肼真空Ion Gauge
Pressure讀數從0.1×10-5Torr逐漸增大(見圖9.1),最后真空規自動關閉,懷疑真空規壞了,于是更換了真空規Ion
gauge(見圖9.2),并點亮真空規多次,最后問題解決!

圖9.1

圖9.2