給水質量對超純水制備的影響

　　摘要：超純水的制備通常只以電阻率來進行水質監控。這種制備方法需要若干步驟。以本地用水為純化水源時，必須在最終精制之前對其進行預處理。純化的初始步驟包括 DI(去離子技術)或者 RO(反滲透)/EDI(連續電流去離子技術)聯用。盡管通過這兩種技術都能獲得電阻率較高的超純水，但是當更能精確地監控超純水質量的 TOC(有機碳總量)也被列入考查指標的時候，不同制備技術得到的超純水之間水質的差異就明顯了。由于 TOC 偏高，選用去去離子技術(DI)進行預處理需要更加嚴謹的維護和操作。而且，樹脂再生之后使用，容易導致有機物脫落進入離子交換精制介質甚至后面的過濾器，進而影響、削弱整個系統的效率、可靠性和使用壽命。