二氧化硅研磨液配方成分

上一篇 / 下一篇 2012-11-04 09:34:11/ 個人分類：配方

禾川化工專業從事二氧化硅研磨液成分分析配方分析，成分分析，配方研制，為研磨液相關企業提供整套技術解決方案一站式服務。

二氧化硅研磨液配方成分

二氧化硅研磨液廣泛應用于金屬表面處理，禾川化工專業從事二氧化硅研磨液配方分析，成分分析，配方研制；禾川化工為研磨液相關企業提供整套技術解決方案一站式服務；蘇州禾川化工新材料科技有限公司（簡稱：禾川技術），為企業，科研的生產研發提供專業化解決方案。禾川技術以蘇州大學為產學研基地，融合了中科院有機所、應化所、浙江大學、南京大學、蘇州大學、華東理工大學等多家科研機構與高校的外圍專家博士團隊，依托生物納米科技園、蘇州大學、中科院納米所強大的儀器測試平臺，憑借強大的科研實力，多年豐富的研發經驗，共同建立化工材料分析中心，新材料研發中心。禾川技術致力于化工行業材料檢測、材料分析、配方還原、新領域新材料的開發；推進新項目整體研發進度，縮短研發周期，推動化工產業自主研發的進程。

目前, CeO2研磨液主要應用在DSTI工藝中。普遍使用的DSTI研磨方法主要有一步研磨法和二步研磨法。由于 CeO2研磨液添加劑的作用,使得現在的研磨液具有比較好的可調性。不同的濃度、不同的配方有著不同的研磨速度和選擇比以滿足不同的需要。

一般來講,一步研磨法是用 CeO2研磨液一步將SiO2全部研磨掉,再用其他方法來去除SiO2的殘留及殘留研磨粒子,這種方法工藝簡單,但是研磨終點的控制比較難,況且缺陷比較難控制, 二步研磨法是指采用兩種具有不同配比的研磨液分兩個步驟來研磨。先用研磨速度快的CeO2研磨液來去除大部分的臺階,當達到平坦化時,研磨速度變得很慢;然后用研磨速度比較慢但是缺陷產生比較少的CeO2研磨液來去除剩余的較少 SiO2;當研磨到Si3N4時,由于選擇比的原因,研磨就會停止在Si3N4層上。

切削液參考配方（僅供參考）

組份名稱	投料量(g/L)
礦物油	50~55%
妥爾油	8~12%
脂肪酸二乙醇酰胺	3~8%
NP-10	1~3%
三乙醇胺硼酸酯	4~8%
二乙醇胺	1~3%
二環己胺	1~2%
有機硅消泡劑	0.3±0.05%
硅酸鈉	1~2%
亞硝酸鈉	1~2%
石油磺酸鈉	1~2%
水	余量