一種納米孔洞陣列金膜制備方法

《現代儀器》2008年03期   
 
  一種納米孔洞陣列金膜制備方法
  李振;趙新穎;王覃;王衛寧
  　　以多孔陽極氧化鋁膜(anodic aluminum oxide,AAO)為模板,用磁控濺射的方法制備納米孔洞陣列金膜,SEM結果表明,制備得到的納米孔洞陣列金膜形貌與AAO模板形貌一致,孔洞陣列規則,孔徑大小均勻。此方法適合于納米孔洞陣列金膜的復制,為納米線、量子點等納米陣列材料的組裝與合成提供新的條件。
【作者單位】：北京市納米光電子學重點實驗室 首都師范大學物理系北京100037(李振;王衛寧);北京市理化分析測試中心 北京100089(趙新穎;王覃)
【關鍵詞】：AAO;模板;磁控濺射;納米孔洞陣列金膜;納米復制
【分類號】：TB383.2
【DOI】：CNKI:SUN:XDYI.0.2008-03-011
【正文快照】：
　　引言??隨著納米科技的興起,制備各種功能的納米材料成為當今科技前沿的一大熱點。模板合成法是近幾年來人們合成納米結構材料的一種常用方法。該方法是首先制備出具有納米孔洞的模板,再應用物理或化學方法在納米孔洞中生長或沉積納米材料,陽極氧化鋁(AAO,anodic aluminum oxide