基于MEMS技術的微型氣相色譜儀的研制

上一篇 / 下一篇 2008-09-24 12:26:23/ 個人分類：分析儀器

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《分析儀器》2007年03期

基于MEMS技術的微型氣相色譜儀的研制
曹德祥
　　介紹了一種采用微電子機械系統(MEMS)的新型微型氣相色譜儀,重點介紹了微進樣系統、微熱導檢測器(TCD)的設計和制做技術。通過微細加工技術.將微通道、微閥、微檢測器等三維器件像IC芯片一樣集成在硅片上,并將這些關鍵器件和常規的毛細管分析柱連用,達到快速、高靈敏度和經濟的樣品分析。該儀器具有便于攜帶、功耗低、能在線分析、使用簡單等特點。
【作者單位】：安捷倫科技(上海)有限公司上海;200131
【關鍵詞】：微電子機械系統;氣相色譜儀;微熱導檢測器;微進樣系統;微細加工
【分類號】：TH833
【DOI】：CNKI:SUN:FXYQ.0.2007-03-008
【正文快照】：
　　概述微電子機械系統(miero eleetro meehanieal sys- tems，MEMs)是微電子技術的拓寬和延伸，它將微電子技術和精密機械加工技術相互融合，實現了微電子與機械系統的一體化。微電子機械系統技術是指對微米/納米材料進行設計、加工、制造、測量和控制的技術川。MEMS技術可將機械

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