二次離子質譜 講解 課件

　　二次離子質譜(SIMS)

　　Secondary Ion Mass Spectroscopy

　　Qing-Yu Zhang

　　State Key Laboratory for Materials Modification by Laser, Ion and Electron Beams

　　SIMS ?? 引言

　　二次離子質譜是利用質譜法分析初級離子入射靶面后，濺射產生的二次離子而獲取材料表面信息的一種方法。二次離子質譜可以分析包括氫在內的全部元素，并能給出同位素的信息，分析化合物組分和分子結構。二次離子質譜具有很高的靈敏度，可達到ppm甚至ppb的量級，還可以進行微區成分成像和深度剖面分析 。

　　SIMS ??離子濺射與二次離子質譜

　　v二次離子質譜

　　一定能量的離子打到固體表面會引起表面原子、分子或原子團的二次發射，即離子濺射。濺射的粒子一般以中性為主，其中有一部分帶有正、負電荷，這就是二次離子。利用質量分析器接收分析二次離子就得到二次離子質譜。