Metrondie-SRG 晶圓級衍射光波導光學檢測

Metrondie-SRG 晶圓級衍射光波導光學檢測系統 是一款專為晶圓級光波導樣品提供的專業光學檢測系統，采用先進的角分辨光譜技術，配合強大的 AI 算法以及可溯源的標準物質，能夠快速、準確獲取一維、二維光柵的衍射效率及其形貌參數，為用戶在衍射光柵的設計與加工過程中提供快速、無損的監控手段，不斷提高產品生產良率。

Metrondie-SRG 晶圓級衍射光波導光學檢測系統

      典型應用領域：

       光柵衍射效率測量   衍射效率是評價光柵性能的核心指標，需要系統具有同時測量角度和波長的能力。

       光柵周期計量   周期作為衍射光波導的基本參數，影響著光在波導內部正確的傳輸與衍射，可溯源的方法是周期計量中的關鍵所在，需要具有復現和量值傳遞作用的標準物質作參考。

       光柵形貌量測   高性能衍射光波導具有較為復雜的光柵形貌，對形貌無損快速的檢測是晶圓批量制程中的核心訴求，需要系統具備多維度光學信號抓取能力并支持人工智能算法高效分析。

       光柵取向測量   光波導中不同區域光柵的取向差異對成像至關重要，需要系統支持旋轉角精確調節。

      Metrondie-SRG 晶圓級衍射光波導光學檢測系統 在以上領域的應用得益于如下幾個特點： 1  角分辨光譜技術  得益于 -70°~70° 的廣角量程與優于 0.02° 的角度精度，可準確捕捉 多級次 衍射強度隨波長和角度的精確分布； 2  晶圓級測量  采用高兼容性樣品臺，有效覆蓋 4~12 寸 晶圓的全面檢測需求。同時，結合智能化軟件，支持晶圓版圖輸入，實現了對衍射光波導晶圓的批量 mapping 檢測； 3  人工智能算法  引入在線優化、深度學習和庫搜索等前沿算法，將物理模型與多維光譜信息緊密融合，可實現 海量模型 的構建與優化，實時獲取衍射光波導光柵的精確形貌參數； 4  高精度電動位移臺  選用高精度 四軸電動 位移臺，可實現 X, Y, Z 軸 微米級 空間定位精度，平面取向 θ 角 弧秒級 角度定位精度，支持衍射光波導全方位自動檢測。