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    光柵光譜儀光柵方程

    2021.5.15

      反射式衍射光柵是在襯底上周期地刻劃很多微細的刻槽,一系列平行刻槽的間隔與波長相當,光柵表面涂上一層高反射率金屬膜。光柵溝槽表面反射的輻射相互作用產生衍射和干涉。對某波長,在大多數方向消失,只在一定的有限方向出現,這些方向確定了衍射級次。如圖1所示,光柵刻槽垂直輻射入射平面,輻射與光柵法線入射角為α,衍射角為β,衍射級次為m,d為刻槽間距,在下述條件下得到干涉的極大值:Mλ=d(sinα+sinβ)

      定義φ為入射光線與衍射光線夾角的一半,即φ=(α-β)/2;θ為相對于零級光譜位置的光柵角,即θ=(α+β)/2,得到更方便的光柵方程:

      mλ=2dcosφsinθ

      從該光柵方程可看出:

      對一給定方向β,可以有幾個波長與級次m相對應λ滿足光柵方程。比如600nm的一級輻射和300nm的二級輻射、200nm的三級輻射有相同的衍射角,這就是為什么要加消二級光譜濾光片輪的意義。

      衍射級次m可正可負。

      對相同級次的多波長在不同的β分布開。

      含多波長的輻射方向固定,旋轉光柵,改變α,則在α+β不變的方向得到不同的波長。

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