原子力顯微鏡（AFM）的幾種成像模式研究
原子力顯微鏡（AFM）有有三種基本成像模式，它們分別是接觸式(Contact mode)、非接觸式(non-contact mode)、輕敲式(tapping mode)。想了解更詳細的信息，可以咨詢Park原子力顯微鏡。Park NX-Wafer全自動AFM解決了缺陷成像和分析問題，提高缺陷檢測生產率達1000%。超高精度和最小化探針針尖變量的亞埃級表面粗糙度測量，能夠可靠地獲得具有最小針尖變量的的亞埃級粗糙度測量。
原子力顯微鏡三種成像模式具體內容如下：
1、接觸式。接觸式AFM是一個排斥性的模式，探針尖端和樣品做柔軟性的“實際接觸”，當針尖輕輕掃過樣品表面時，接觸的力量引起懸臂彎曲，進而得到樣品的表面圖形。
2、非接觸式。在非接觸模式中，針尖在樣品表面的上方振動，始終不與樣品接觸，探測器檢測的是范德華作用力和靜電力等對成像樣品沒有破壞的長程作用力。需要使用較堅硬的懸臂（防止與樣品接觸）。
3、輕敲式。微懸臂在其共振頻率附近做受迫振動，振蕩的針尖輕輕的敲擊表面，間斷地和樣品接觸。當針尖與樣品不接觸時，微懸臂以最大振幅自由振蕩。當針尖與樣品表面接觸時，盡管壓電陶瓷片以同樣的能量激發微懸臂振蕩，但是空間阻礙作用使得微懸臂的振幅減小。反饋系統控制微懸臂的振幅恒定，針尖就跟隨表面的起伏上下移動獲得形貌信息。
想要了解原子力顯微鏡的相關信息，推薦咨詢Park原子力顯微鏡。Park成立30多年來，始終致力于納米領域的形貌&力學測量和半導體先進制成工藝的計量的新技術新產品的開發。Park獨有的技術是將XY和Z掃描器分離，實現探針與樣品間的真正非接觸，避免形貌掃描過程中因探針磨損帶來的圖像失真，快速成像還可以大大提高測試效率，降低實驗測試成本
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