納米壓痕儀的概述
納米壓痕技術也稱深度敏感壓痕技術,是最簡單的測試材料力學性質的方法之一,在材料科學的各個領域都得到了廣泛的應用。
納米壓痕儀,又稱納米壓入儀,主要用于微納米尺度薄膜材料的硬度與楊氏模量測試,測試結果通過力與壓入深度的曲線計算得出,無需通過顯微鏡觀察壓痕面積。適用于有機或無機、軟質或硬質材料的檢測分析,包括PVD、CVD、PECVD薄膜,感光薄膜,彩繪釉漆,光學薄膜,微電子鍍膜,保護性薄膜,裝飾性薄膜等等。
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