我國造出世界最大面積中階梯光柵
記者從中科院長春光機所獲悉：由該所承擔的國家重大科研裝備研制項目“大型高精度衍射光柵刻劃系統的研制”11日通過驗收，并制造出世界最大面積中階梯光柵。這標志著我國大面積高精度光柵制造中的相關技術達到國際領先水平，結束了在高精度大尺寸光柵制造領域受制于人的局面。
衍射光柵是一種納米精度周期性微結構的精密光學元件，在光譜學、天文學、激光器、光通訊、信息存儲等領域中有重要應用。光柵面積大可獲得高集光率和分辨本領，精度高可獲得更好的信噪比，但制造出大而精的光柵是世界性難題。
光柵刻劃機是制作光柵的母機，因其部件的加工裝調精度難，運行保障環境要求高，被譽為“精密機械之王”，本項目研制的光柵刻劃機，幾乎所有關鍵部件都沖擊世界極限水平。研制期間，科研人員突破了精密機械加工、精密光學加工、精密檢測、高精度微位移控制等一系列關鍵技術，并研制出面積達400毫米×500毫米、精度為10納米的光柵，這也是目前世界上面積最大的中階梯光柵。
此前，只有美國能夠制作300毫米以上中階梯光柵，我國的中階梯光柵制造能力不足300毫米，精度也達不到10納米精度水平，戰略高技術領域所需要的高精度大尺寸光柵受到國外嚴格限制。項目負責人、中科院長春光機所研究員唐玉國表示，大型高精度光柵刻劃系統以及大面積中階梯光柵的研制成功，能幫助我國光譜儀器行業擺脫“有器無心”局面，改變我國光譜儀器產業處于行業低端現狀。
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