原子發射光譜分析法中的ICP光源的主要優點
1) 檢出限低：許多元素可達到1ug/L的檢出限
2) 測量的動態范圍寬：5-6個數量級
3) 準確度好
4) 基體效應小：ICP是一種具有6000-7000K的高溫激發光源，樣品又經過化學處理，分析用的標準系列很易于配制成與樣品溶液在酸度、基體成分、總鹽度等各種性質十分相似的溶液。同時，光源能量密度高，特殊的激發環境——通道效應和激發機理，使ICP光源具有基體效應小的突出優點。
5) 精密度高：RSD~0.5%
6) 曝光時間短：一般只需10-30秒
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