電容式傳感器工作原理及類型
電容式傳感器是將被測量（如尺寸、壓力等）的變來化轉換成電容量變化的一種傳感器。
9.4.1 工作原理及類型
由物理學可知，在忽略邊緣效應的情況下，平板電容器的電容量為
（F）
式中
—真空的介電常數源， =8.854×10-12F/m；
ε—極板間介質的相對介電系數，在空氣中，ε=1；
S—極板的遮蓋bai面積（m2）；
δ—兩平行極板間的距離（m)。
上式表明，當被測量δ、S或ε發生變化時，會引起電容du的變化。如果保持其中的兩個參數不變，而僅改變另一個參數，就可把該參數的變化變換為單一電容量的變化，zhi再通過配套的測量電路，將電容的變化轉換為電信號輸出。根據電容器參數變化的特性，電容式傳感器可分為極dao距變化型、面積變化型和介質變化型三種，其中極距變化型和面積變化型應用較廣。
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