光刻機為什么一定用紫外線
光刻機采用激光將圖形刻印在半導體上,但光是電磁波,不同的光線具有不同的波長。
如果需要刻印的圖形非常微小,而采用的光線波長較大,則刻不出想要的圖形。
就像你不能用拖把(書寫痕跡粗大)在田字格本上寫毛筆字(筆劃細小)。
現在的芯片集成度越來越高,最高端的芯片工藝已經到了2nm級別。
而可見光波長在780nm(紅)~400nm(紫)之間,刻不出小于400nm的圖形。
紫外線波長在400nm~10nm之間,采用極紫光才可能刻印10nm寬的線條。
現在最高集成度的芯片,都在10nm以下,已經屬于X射線范疇了。
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