X射線熒光光譜儀的發展歷史
X射線熒光光譜儀的發展歷史，最早可以追溯到1895年，德國物理學家威廉·康拉德·倫琴于這一年11月發現并識別出了X射線，因此，X射線在許多國家也被稱之為倫琴射線。
隨后在1909年，英國物理學家查爾斯·格洛弗·巴克拉發現了從樣本中輻射出來的X射線與樣品原子量之間的聯系；四年之后，也即在1913年，同樣來自英國的物理學家亨利·莫斯萊發現了一系列元素的標識譜線（特征譜線）與該元素的原子序數存在一定的關系。這些發現都為人們后期根據原子序數而不是根據原子量大小提煉元素周期表奠定了基礎，同樣也為人們建立起第一個X射線熒光光譜儀（XRF）打下了堅實的理論基礎。然而，直到1948年，Herbert Friedman 和Laverne Stanfield Birks才建立起世界上第一臺X射線熒光光譜儀，這為后續光譜儀的商業化使用開辟了道路。
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