氦質譜檢漏儀常見的三種檢漏法

　　1、負壓法檢漏

　　負壓法檢漏是將被檢件接到檢漏儀的檢測口，用噴槍連續向可疑的漏孔噴射示蹤氣體，示蹤氣體通過漏孔進入檢漏儀并被檢測。一般電子器件的外殼、高壓開關管、氧化鋅、避雷器等都應采用這種方法檢漏。

　　根據產品的不同，需要選擇不同尺寸的夾具或輔助工具。舉個例子，比如管殼的檢漏。檢漏儀正常工作后，用標準漏孔進行漏率校準，就可以對管殼作噴吹檢漏，先將夾具固定在檢漏口，待測管殼放在夾具上面的橡皮板上，輔助抽氣系統將其抽至預定真空后自動接至儀器的測量系統。然后用噴槍連續向管殼噴氦氣，時間一般1～3秒，當管殼存在漏孔時，氦氣將通過漏孔進入儀器的質譜分析部分，漏量大小在漏率表上直接顯示出來，這種方法既能判斷漏孔的位置也可測量漏孔的大小。整個檢測周期只需一分鐘。

　　2、正壓法檢漏

　　正壓法檢漏與負壓法檢漏相反，吸槍接在檢漏儀的檢測口，而被檢件充入規定壓力的示蹤氣體，漏孔泄漏出來氦氣被吸槍吸入檢漏儀被檢測。大型容器或內部放氣管量很大的容器做負壓檢漏很不經濟，而且檢漏速度慢，一般采取正壓檢漏。

　　這種正壓檢漏法應注意事項：第一必須校準儀器的吸槍靈敏度，再向容器內充入比一個大氣壓高的氦氣；第二有些容器是薄板結構，建議在容器外面做夾具防止高壓時變形損壞器件；第三吸槍沿焊縫移動時速度不要太快，離開表面1mm左右，以保證吸入靈敏度，將探頭做成喇叭口形效果更好。

　　3、壓氦法檢漏

　　壓氦法檢漏是將壓有一定壓力的示蹤氣體的被檢件放入檢漏夾具中，然后連至檢漏儀將其抽空，示蹤氣體通過漏孔泄漏出來，經檢漏儀檢測總泄漏量。

　　一般小型電子器件宜采用這種檢漏方法。首先將儀器調整好，再將器件放入加壓罐內壓入氦氣，氦氣進入有漏孔的器件內部，無漏孔的器件只是表面吸咐氦氣。器件加壓壓力和時間根據GB2423，2328文件而定，器件從加壓罐中取出后將表面吸咐的氦氣吹掉再放入檢漏夾具中抽空，待真空抽至設定值后自動將夾具連至儀器的測量系統。這時壓入存在漏孔器件內部的氦氣泄漏出來被檢測，其漏率在漏率表上顯示出來。

　　一般壓氦法檢漏時采用排除法。在夾具中放一定數量的器件，這一批的總漏率沒超過報廢預定值，說明這一批合格；總漏率超過報廢預定值可以取出一半，剩下的一半繼續檢漏，這一半合格說明有漏的器件在取出的那一半中，依此檢漏直至檢出有漏孔的器件。