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液相芯片微流器件制備方法綜論
關鍵詞： 液相芯片 微流器件制備來源： 互聯網
【摘要】 微流器件的制備是 液相芯片技術一項重要的相關技術。 分別簡要地介紹了硅、玻璃和石英基片的機械加工法、光刻和蝕刻法與高分子基片的激光燒蝕法制備微流器件的原理和方法，以及實驗結果。
【關鍵詞】液相芯片 ?微流器件? 機械加工?? 光刻和蝕刻? ?激光燒蝕
中圖分類號： TH7 9???????????? 文獻標識碼： A??????????
文章編號：1005—5630(2005)04—0092—05
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