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    當前位置: 雷尼紹 應用文獻 為何選擇Renishaw inVia Raman對氧化硅進行分析?

    為何選擇Renishaw inVia Raman對氧化硅進行分析?

    2019-04-10
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    摘要

    碳化硅具有寬的帶隙、高的導熱性和較高的擊穿場等顯著的優點,而且具有化學惰性和熱惰性。這些特性使其在晶體管(JFET、MOSFET、ETS)中(如高溫電子器件)以及快速高壓設備中具有非常廣泛的應用。 

    碳化硅的性能在很大程度上取決于它的晶體結構(它可以存在于多種類型)、晶體的質量以及缺陷的數量和缺陷類型。生產碳化硅原料和設備的企業需要對這些屬性進行監控,以提高產量。 

    控制這些參數的第一步是重復和量化地測量它們。Renishaw的拉曼系統非常適合這種情況。分析從碳化硅的拉曼譜圖,可以確定晶體的形狀、質量和缺陷的形貌。您可以輕松、快速和無損地完成這項工作。可以分析整個晶圓,可以二維顯示表面或者三維顯示表面下的信息。                                 

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