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attocube公司生產的attoFPSenor系列位移激光干涉器充分滿足了高分辨位移與定位的工業和科研需要,其緊湊的設計和穩定性可以在極端環境中使用,在極大的位移測量范圍內,達到25pm的位移分辨率和10MHz的采樣速率,應用范圍遍及閉環掃描器校準、樣品或模塊位移、加工業、引擎位移探測等領域。