SXES軟X射線分析譜儀

• 軟X射線分析譜儀

• 軟X射線分析譜儀(SXES :Soft X-Ray Emission Spectrometer)通過組合新開發的衍射光柵和高靈敏度Ｘ射線CCD相機，實現了極高的能量分辨率。 和EDS一樣可以并行檢測，并且能以0.3eV(費米邊處Al-L基準)的極高能量分辨率進行分析，超過了WDS的能量分辨率。

產品特點：

• 軟X射線分析譜儀(SXES :Soft X-Ray Emission Spectrometer)通過組合新開發的衍射光柵和高靈敏度Ｘ射線CCD相機，實現了極高的能量分辨率。
  和EDS一樣可以并行檢測，并且能以0.3eV(費米邊處Al-L基準)的極高能量分辨率進行分析，超過了WDS的能量分辨率。

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• 系統簡介
  

• zei新開發設計的分光系統，不需移動衍射光柵或檢測器（CCD）就能同時獲取不同能量的譜圖。而且由于能量分辨率很高，還可以采集狀態分析分佈圖

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• SXES、WDS、EDS的比較

• 各種分光方法中氮化鈦樣品的譜圖

• 即使在WDS分析中氮化鈦的譜峰也發生重疊，需要采取去卷積的數學方法處理。如下圖所示，SXES具有很高的能量分辨率。

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• 比較表

特征	SXES	EPMA(WDS)	EDS
分辨率	0.3 eV (費米邊處 Al-L)	8 eV (FWHM@Fe-K）	120-130 eV (FWHM@Mn-K）
化學結合狀態分析	可以	可以(主要是輕元素)	不可以
并行檢測	可以	不可以 (但分光譜儀臺數范圍即可)	可以
分光晶體和檢測器	衍射光柵＋CCD	分光晶體＋正比計數管	SDD
檢測器冷卻	珀爾帖冷卻	不需要	珀爾帖冷卻
檢測限(以B作為參考值)	20ppm	100ppm	5000ppm

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• 鋰離子二次電池（LIB）分析實例

• 能觀察到LIB的充電量

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• 充滿電后Li-K樣品的譜圖

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  說明: 由于理論上的原因，氧化鋰的檢測很困難
   

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• 輕元素的測試實例

• SXES測試碳素化合物的實例

• 可以測試金剛石、石墨、聚合物的不同。

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• 各種氮素化合物的測試實例

• 氮素也可以根據波形分析化學結合狀態。 硝酸鹽和氮化物的波形完全不同，還能觀察到易受電子束損傷的銨鹽的獨特波形。

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產品規格：

• 能量分辨率0.3eV（Al-L 光譜圖73eV處測試）
  

• 獲取能量范圍：衍射光柵JS50XL的能區50-170eV

• 獲取能量范圍：衍射光柵JS50XL的能區70-210eV

• 分光譜儀艙安裝位置：

• EPMA的WDS接口：NO.2接口（正面右側）

• FE-SEM的WDS接口（正面左后側）

• 分光譜儀尺寸　W 168mm×D 348mm ×H 683mm

• * 從接口包括CCD的距離

• 分光譜儀重量　25kg

• 適用機型

• EPMA ： JXA-8530F, JXA-8230, JXA-8500F, JXA-8200

• SEM ： JSM-7800F, JSM-7800 Prime, JSM-7100F

SXES軟X射線分析譜儀信息由日本電子株式會社(JEOL)為您提供，如您想了解更多關于SXES軟X射線分析譜儀報價、型號、參數等信息，歡迎來電或留言咨詢。

注：該產品未在中華人民共和國食品藥品監督管理部門申請醫療器械注冊和備案，不可用于臨床診斷或治療等相關用途