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GB/T 16524-1996
光掩模對準標記規范

Specification for registration marks for photomasks

GBT16524-1996, GB16524-1996

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標準號: GB/T 16524-1996
別名: GBT16524-1996, GB16524-1996
發布: 1996年
采用標準: SEMI P6-1988 EQV
發布單位: 國家質檢總局
當前最新: GB/T 16524-1996

適用范圍: 本規范規定了所有光掩模上使用的對準標記的形狀、尺寸范圍和一般位置。本規范適用于光掩模。

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